特許

J-GLOBAL ID：200903007728534095

ウェーハ熱処理炉

発明者： 佐々木 宏 ,  柚木脇 智 ,  松山 博行 ,  佐藤 正晃 ,  花田 洋一郎 ,  平石 吉信
出願人/特許権者： コマツ電子金属株式会社 ,  株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 有吉 教晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-314610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188294
出願日： 1998年11月05日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ウェーハを熱処理するに際して、反応管内部を流下する雰囲気ガスに対して、周方向に旋回する動きを与えることで、雰囲気ガスの上下方向の対流を発生させることなく、ウェーハの汚染を防ぎ、かつ又ウェーハの周方向の温度分布を均一にする。【解決手段】 熱源2により加熱される反応管1の上部に設けた雰囲気ガスの供給口3を、反応管の周方向に向けて開口せしめる。また、ウェーハ5を載置するボート6の上端に設けた円盤状の整流板上面に中心から湾曲して放射状に伸びる複数枚のフィンを取り付ける構造とすることもある。

請求項（抜粋）：

長手方向を上下方向とする円筒型の反応管と、熱処理されるべきウェーハを載置し反応管内部に装填されるウェーハボートと、反応管内に熱エネルギーを与える反応管周囲に配置された熱源と、反応管内部にウェーハ熱処理用の雰囲気ガスを供給する反応管上部に連結したガス供給管と、雰囲気ガスを最終的に反応管外へと排出する反応管下部に連結した排気管とを有し、前記雰囲気ガス供給管が反応管に対し、その連結部において、反応管中心軸を中心とする任意の同心円の接線方向から連結されていることを特徴とするウェーハ熱処理炉。

IPC (3件)：

H01L 21/324 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

H01L 21/324 R ,  H01L 21/22 511 S ,  H01L 21/31 E