真空蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064213
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256835
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】走行中のフィルム表面に異なる元素からなり、所定の組成比および目標厚みを有する混合膜を、連続的、且つ均一に形成可能にする。【解決手段】異なる種類の蒸着材料16を保持可能な坩堝9と、蒸着材料16を加熱して蒸着させる電子銃4と、蒸着混合膜に一次X線を照射するX線照射手段7aと、一次X線により励起される特性(蛍光)X線の強度を測定する特性X線測定手段7b,7cと、既知の特性を有する複数の標準試料を備えた標準板7eを、一次X線の照射光路に出退可能に移動させる標準板移動手段7dと、標準試料から得られる特性X線強度の測定値に基づいて特性X線測定手段7b,7cで測定された特性X線強度を補正する補正装置14と、特性X線強度を基に混合膜の成分毎の厚みを出力する制御量演算器15と、この制御量演算器15で得られた厚みデータ又は又は補正装置14より補正されたデータに基づいて電子銃4を制御する厚み制御手段20と、を備える。

請求項（抜粋）：

真空槽内を走行するフィルムに異なる元素からなる混合膜を形成可能な真空蒸着装置において、異なる種類の蒸着材料を保持可能な保持手段と、前記蒸着材料を加熱して蒸着させる加熱手段と、この加熱手段により形成された前記フィルム上の混合膜に一次X線を照射するX線照射手段と、前記一次X線により励起される特性(蛍光)X線の強度を測定する特性X線測定手段と、既知の特性を有する複数の標準試料を備えた標準板を、前記一次X線の照射光路に出退可能に移動させる標準板移動手段と、前記標準試料から得られる特性X線強度の測定値に基づいて前記特性X線測定手段で測定された特性X線強度を補正する補正手段と、前記特性X線強度を基に前記混合膜の成分毎の厚みを出力する混合膜厚み出力手段と、この混合膜厚み出力手段で得られた厚みデータ又は前記補正手段より補正されたデータに基づいて前記加熱手段を制御する厚み制御手段と、を備えることを特徴とする真空蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , B01J 19/08 , G01N 23/223

FI (3件)：

C23C 14/24 U , B01J 19/08 F , G01N 23/223

Fターム (42件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001EA02 , 2G001EA08 , 2G001FA01 , 2G001FA02 , 2G001FA08 , 2G001GA16 , 2G001JA09 , 2G001JA15 , 2G001JA16 , 2G001KA11 , 2G001NA06 , 2G001NA07 , 2G001NA17 , 2G001PA05 , 2G001PA07 , 2G001SA02 , 4G075AA24 , 4G075BB02 , 4G075BC01 , 4G075BD14 , 4G075CA02 , 4G075CA65 , 4G075DA01 , 4G075DA12 , 4G075EA05 , 4G075EB01 , 4G075EB31 , 4G075ED04 , 4G075ED06 , 4G075ED09 , 4G075EE12 , 4G075FB12 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA44 , 4K029BA46 , 4K029CA01 , 4K029DB05 , 4K029EA01

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