特許

J-GLOBAL ID：200903007732910891

低酸素チタン材および低酸素チタン溶解素材の製造方法

発明者： 小林 一彦 ,  高橋 勝一 ,  小瀬村 晋
出願人/特許権者： 東邦チタニウム株式会社
代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022636
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259432
出願日： 1998年01月20日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 酸素含有率が250ppm以下の高品位を有し、スパッタリング用ターゲット材などの用途に十分適用可能な低酸素チタン材および低酸素チタン溶解素材の製造方法を提供する。【解決手段】 クロール法で製造したスポンジチタンケーキを、切断して選別し、選別したスポンジチタンを粉砕し、さらに、粉砕したスポンジチタンを整粒してチタン材を得るといった一連の破砕工程、ならびに破砕工程を経て得たチタン材を溶解素材に加工・成形する成形工程を、絶対湿度が10g-H2O/m3以下の雰囲気下で行うことにより、チタン材およびチタン溶解素材の酸素含有率を、少なくとも250ppm以下に抑える。

請求項（抜粋）：

クロール法で製造したスポンジチタンケーキを切断して選別し、選別したスポンジチタンを工具を用いて粉砕するチタン材の製造方法において、前記粉砕を、絶対湿度が10g-H2O/m3以下の雰囲気下で行うことを特徴とする低酸素チタン材の製造方法。

IPC (2件)：

C22B 34/12 103 ,  C23C 14/34

FI (2件)：

C22B 34/12 103 ,  C23C 14/34 A