露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-075766
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283120
出願日： 1994年04月14日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】感光性の基板上での積算露光量を適正範囲内に正確に収めることができる走査露光型の露光装置を提供する。【構成】水銀ランプ1によるウエハW上での照度を水銀ランプ電源電流制御系69、及びNDフィルタ板34で選択するNDフィルタの透過率により制御する。ウエハW上での照度をインテグレータセンサー11によりモニターし、インテグレータセンサー11の検出信号が一定レベルになるように水銀ランプ電源電流制御系69の動作を制御する定照度モードと、水銀ランプ1に供給する電流を一定値に維持する定電力モードとを有する。走査露光方式で露光するときには定照度モードを使用し、アライメント等を行うときには定電力モードを使用する。

請求項（抜粋）：

露光用光源からの照明光で転写用のパターンが形成されたマスク上の照明領域を照明し、該照明領域に対して前記マスクを走査するのと同期して、前記照明領域と光学的に共役な露光領域に対して感光性の基板を走査することにより、前記マスクのパターンを逐次前記基板上に露光する走査露光型の露光装置において、前記露光用光源に所定の状態に調整された電力を供給する電力供給手段と;前記露光用光源と前記基板との間に配され、前記照明光の減衰率を調整して前記基板上での照度を調整する照度可変手段と;前記露光用光源から射出される照明光の露光エネルギーを連続して計測する露光量計測手段と;前記電力供給手段を介して前記露光用光源に所定の一定な電力を供給する定電力モードと、前記露光量計測手段により計測される露光エネルギーが所定の目標値に維持されるように前記電力供給手段及び前記照度可変手段の動作を制御する定照度モードとを切り換える動作モード切り換え手段と;を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 518 , H01L 21/30 516 D

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-175730
特開平2-065222
走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-176781 出願人：キヤノン株式会社

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