特許
J-GLOBAL ID：200903007736318695
微量ガス漏れ検出用の高感度スリットなしイオン源質量分析計
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
稲岡 耕作
, 川崎 実夫
, 岡本 寛之
, 河津 康一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-555281
公開番号（公開出願番号）：特表2009-527098
出願日： 2007年02月08日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】微量ガス漏れ検出分野に於いて改良された質量分析計と方法とが必要である。【解決手段】質量分析計は、間隙を区画する相互離間した磁極片を含み、かつ前記間隙に於いて磁界を生成する主磁石と、イオンを発生させかつ前記イオンを前記間隙内の前記磁界内部に加速させる、前記間隙外部に位置するイオン源と、前記イオン源により生成され且つ前記磁界により偏向されたイオンのうちの選択種を検出するイオン検出器とを含む。前記イオン検出器は、前記間隙に於いて、前記選択イオン種の自然焦点に位置している。この質量分析計は、微量ガス漏れ検出器に於いて使用してもよい。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
間隙を区画する相互離間した磁極片を含み、かつ前記間隙に於いて主磁界を生成する主磁石と、
イオンを発生させ、かつ前記イオンを前記間隙内の前記主磁界内へ加速させる、前記間隙外部に位置するイオン源であって、細長い抽出スリットを区画する抽出電極と、細長い基準スリットを区画する基準電極と、前記抽出スリットに隣接して位置し、イオン化電子を発生させる少なくとも1つのフィラメントと、前記抽出電極から離間している反射電極であって、前記フィラメントにより発生されたイオン化電子が、前記フィラメントから前記抽出スリット付近の電離領域へ加速されて気体のイオン化がなされ、前記電離領域で発生されたイオンは、前記抽出スリットを介して抽出され、前記基準スリットを介して前記主磁石の前記磁極片間の前記間隙内へ加速されるように構成された、反射電極と、供給源磁界を生成して前記イオン化電子の軌道を拘束する、相互離間した磁極片を含む供給源磁石とを含む、イオン源と、
前記イオン源により生成され、かつ前記主磁界により偏向されたイオンのうちの選択種を検出するイオン検出器であって、前記間隙に於いて、前記選択イオン種の自然焦点に位置しているイオン検出器と、
を含み、
前記抽出電極と前記基準電極と前記反射電極との寸法および間隔は、前記イオン源に於いて発生されたイオンを前記抽出スリットに向けて焦束させ、これにより前記主磁石が前記選択種イオンを物理的な入射スリットを使用することなく前記イオン検出器へ偏向させるような電界を形成するように構成されていることを特徴とする質量分析計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2G041CA01
, 2G041CA10
, 2G041DA13
, 2G041EA05
, 2G041FA04
, 2G041GA02
, 2G041GA15
, 2G041GA22
, 2G041GA29
, 5C038HH07
