特許
J-GLOBAL ID:200903007739940613

圧電振動子の構造及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 均
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-225263
公開番号(公開出願番号):特開2000-049561
出願日: 1998年07月24日
公開日(公表日): 2000年02月18日
要約:
【要約】【課題】 大型ウェハーからバッチ処理により個々の振動子小片を製造する際に、個々の振動子の両主面に形成される励振電極から延びるリード電極が各主面上にて終端せざるを得ないために、リード電極を表面実装パッケージ内のパッド上に接続固定する際に、パッド側とは反対側のリード電極との接続が面倒になるという不具合を解決することができる圧電振動子の構造及びその製造方法を提供する。【解決手段】 圧電素板12の両主面に励振電極13を備えると共に、各励振電極から圧電素板の同一の端縁、又は異なる2つの端縁に向けて夫々リード電極14を延出した構造の圧電素子において、少なくともいずれか一方のリード電極と接する凹所状のスルーホール17を素板端縁に形成し、該スルーホール内の導体膜16を該リード電極と電気的に接続した。
請求項(抜粋):
圧電素板の両主面に励振電極を備えると共に、各励振電極から圧電素板の同一の端縁、又は異なる2つの端縁に向けて夫々リード電極を延出した構造の圧電振動子において、少なくともいずれか一方のリード電極と接する凹所状のスルーホールを素板端縁に形成し、該スルーホール内の導体膜を該リード電極と電気的に接続したことを特徴とする圧電振動子の構造。
IPC (4件):
H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/10
FI (4件):
H03H 9/19 A ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/02 F ,  H03H 9/10
Fターム (12件):
5J033BB03 ,  5J033CC04 ,  5J033EE03 ,  5J033EE07 ,  5J033EE18 ,  5J033EE19 ,  5J033FF07 ,  5J033FF14 ,  5J033FF15 ,  5J033GG03 ,  5J033KK02 ,  5J041AA14

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