特許
J-GLOBAL ID：200903007740699229
超音波平面研削加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-225226
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058194
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 超音波振動をワークの研削に好適な振動パターンとなるように変換可能としてワークの厚さ方向への大きなクラックの発生を抑えるとともに切り粉の排出も良好な加工が可能な超音波平面研削加工装置を提供する。【解決手段】 ワークテーブル上にセットしたワークWとの間で垂直及び水平方向に相対変位可能な回転主軸3aを、超音波振動負荷機構によって軸線方向に超音波振動を付与可能とし、回転主軸3aの下端には超音波振動に共振可能な振動子5を設けるとともにこの振動子5の下面に設けた研削用の研削砥粒層6を備え、振動子5は上端側が小径で下端側が大径のほぼ円錐台状の外郭形状とし且つその内部を中空として下端面を開放した断面形状を持つ。
請求項（抜粋）：
ワークテーブル上にセットしたワークとの間で垂直及び水平方向に相対変位可能であって且つ垂直方向に軸線を持つ回転主軸と、この回転主軸に連接されて軸線方向に超音波振動を付与する超音波振動負荷機構と、回転主軸の下端に連結され超音波振動負荷機構からの超音波振動に共振可能な振動子と、この振動子の下面に設けた研削用の砥粒層とからなる超音波平面研削加工装置。
引用特許：
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