特許

J-GLOBAL ID：200903007743596420

電子回折装置

発明者： 向畑 和男
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-292286
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128973
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】 反射電子回折装置で試料を照射する電子ビームの試料面に対する照射角を高低切換え可能にする。【構成】 電子ビームを偏向させる手段を設け、電子ビーム偏向手段不作動で試料を高位置に設定したときは電子ビームが試料面にすれすれ(低角)に入射し、試料を低位置に設定して電子ビーム偏向手段を作動させることで高角照射が行われるようにした。【効果】 試料の上下および水平X,Y方向の移動手段はもともと装置内にあり、試料への電子ビーム照射角を変えるためには試料の傾きを変える機構の追加が必要であるが、本発明によればこの機構が不要である。

請求項（抜粋）：

真空チャンバー内に電子ビーム形成用の電子銃と、試料上下手段と、上記電子ビームを下向きに偏向させる電子ビーム偏向手段とを設け、上記電子ビーム偏向手段を作動させないで試料を高位置に設定したとき、上記電子ビームが試料面に低い入射角で入射し、上記電子ビーム偏向手段を作動させ試料を低位置に設定したとき、上記電子ビームが高入射角で試料面に入射するようにしたことを特徴とする電子回折装置。