レーザ光発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-212080
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052443
出願日： 1997年08月06日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】波長が248nmに近似し、高出力であると共に、毒性がなく、長寿命で、解像性能の高いレーザ光発生装置を得る。【解決手段】波長がλ1(=946nm)の第1のレーザ光を発生する固体レーザからなる第1のレーザ光源1と、波長がλ2(=1047nm)の第2のレーザ光を発生する固体レーザからなる第2のレーザ光源2と、第1及び第2のレーザ光から波長がλ1・λ2/{2(λ1+λ2)}の出力レーザ光を得る非線形波長変換手段4、5とを有する

請求項（抜粋）：

波長がλ1(=946nm)の第1のレーザ光を発生する固体レーザからなる第1のレーザ光源と、波長がλ2(=1047nm)の第2のレーザ光を発生する固体レーザからなる第2のレーザ光源と、上記第1及び第2のレーザ光から波長がλ1・λ2/{2(λ1+λ2)}の出力レーザ光を得る非線形波長変換手段とを有することを特徴とするレーザ光発生装置。

IPC (3件)：

G02F 1/37 , H01S 3/108 , H01S 3/16

FI (3件)：

G02F 1/37 , H01S 3/108 , H01S 3/16

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