試料の物理的性質の測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-032916
公開番号（公開出願番号）：特開2003-232778
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】光学的に検出された試料の音響的揺動の画像を用いて試料の物理的性質を測定する方法を提供する。【解決手段】試料に光学的な方法で瞬発的な局所音響波源を生成し、この音響波源から試料中を伝搬する音響的揺動の画像を取得する。例えば、試料(クラウンガラス基板上に多結晶金薄膜)表面の90μm×90μmの領域について、3つの連続する時刻における音響的揺動の画像を得た。得られた画像に本発明による信号処理を施すことによって試料の音響的分散関係を実験的に得る。その得られた分散関係と別途理論的に予測される分散関係とを比較し、両者の差が最小になるように理論予測に用いる試料の物理的性質の緒量を調整する。これによって物質の厚み、弾性定数、密度などの試料の物理的性質の測定が可能になった。

請求項（抜粋）：

(a)短時間幅のポンプ光パルスによって試料中に音響波を発生させる局所化された瞬発的な音響波源を生成し、(b)前記試料の表面または内部の音響的揺動をプローブ光によって前記局所化された瞬発的な音響波源の近傍の2次元的領域において検出することにより音響的揺動の画像を形成し、(c)前記局所化された瞬発的な音響波源の生成時刻と前記音響的揺動を前記プローブ光によって測定する時刻との間の遅延時間を変化させ、(d)前記遅延時間の異なる複数枚の前記音響的揺動の画像の2次元空間的フーリエ変換を得るために前記音響的揺動の画像を処理し、(e)一つ以上の音響モードについて適当な音響波動ベクトルの範囲内で実験的な分散関係を求め、前記実験的な分散関係を前記試料における前記音響モードについて理論的に求めた分散関係と比較することによって前記試料の前記2次元的領域における物理的性質を抽出するように、前記2次元空間フーリエ変換をもとにしたデータ処理を行うことを特徴とする試料の物理的性質の測定方法。

IPC (3件)：

G01N 29/00 501 , G01B 17/02 , G01N 21/00

FI (3件)：

G01N 29/00 501 , G01B 17/02 Z , G01N 21/00 A

Fターム (38件)：

2F068AA28 , 2F068BB01 , 2F068BB25 , 2F068EE06 , 2F068FF03 , 2F068GG07 , 2F068HH01 , 2F068JJ00 , 2F068QQ00 , 2F068QQ10 , 2F068RR01 , 2F068RR13 , 2G047AB05 , 2G047AC10 , 2G047CA04 , 2G047CB01 , 2G047CB02 , 2G047CB03 , 2G047GD00 , 2G047GG12 , 2G047GH06 , 2G059AA03 , 2G059AA05 , 2G059BB16 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE16 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG04 , 2G059GG08 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM08

前のページに戻る