特許
J-GLOBAL ID：200903007757566079
表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-297897
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178669
出願日： 1996年10月23日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】移動している鋼板表面にある模様状疵や凹凸状の疵をオンラインで連続的に検出して、その種別や程度を弁別することが困難であった。【解決手段】鋼板4からの反射光の異なる偏光をリニアアレイカメラ3で測定する。信号処理部12は測定した3種類の画像信号をシェ-ディング補正して正常部が全階調の中心濃度になるように正規化して平坦化し、正常部に対する相対的な変化を示す光強度信号に変換する。この正常部に対する相対的な変化を示す3種類の光強度信号の分布の変化極性と変化量とをあらかじめ定めたパタ-ンと比較して偏光の変化を検出し、正常部に対する変化極性と変化量の大小から表面の物性が母材と異なる疵の疵種を判定する。
請求項（抜粋）：
投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも3方向の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変換し、信号処理部は各受光光学系から出力された光強度分布を平均値があらかじめ定めた基準値となるように規格化し、規格化した複数の光強度分布の変化極性と変化量とをあらかじめ定めたパタ-ンと比較し疵種を判定することを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01B 11/30
, G01N 21/21
G01N 21/89 B
, G01B 11/30 E
, G01N 21/21 Z
