特許
J-GLOBAL ID：200903007762934965

マイクロミラーデバイス及びマイクロミラーデバイスを使用した装置

発明者：
佐々木 実

佐々木 実 について

, 
羽根 一博

羽根 一博 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東北大学

国立大学法人東北大学 について


代理人 (4件)： 重信 和男 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  中野 佳直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-141324
公開番号（公開出願番号）：特開2007-310274
出願日： 2006年05月22日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】マイクロミラーデバイスを実用的な応用に適応するには、低消費電力や高速応答が期待される。低消費電力のためには小さな駆動力でも回転するようミラーを支持するバネを柔らかくすること、高速応答のためにはミラーを軽くすることが必要である。これらをマイクロミラーの光学特性を維持して実現することが難しいという課題があった。【解決手段】アモルファスシリコンの結晶化誘起応力で得られる引張応力の加わったシリコン材料を使用した、薄膜トーションバー、結晶シリコンのドラム上に組み合わせた薄膜ミラー、バルクシリコンと組み合わせた梁の変形で用意された静電駆動用縦型櫛歯構造の全て又はいずれかに使用することで、小さな駆動力でも回転し、高速応答できるマイクロミラーデバイスが得られる。通常使用されるシリコン基板と熱膨張率が同じ材料からなり、温度特性の安定化が図れる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光スキャナーや二次元走査型ミラー等のマイクロミラーデバイスにおいて、アモルファスシリコンの結晶化誘起応力で得られる引張応力の加わったシリコン材料を使用したことを特徴とするマイクロミラーデバイス。
IPC (4件)：
G02B 26/08 ,  G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00
FI (4件)：
G02B26/08 E ,  G02B26/10 104 ,  B41J3/00 D ,  B81B3/00
Fターム (13件)：
2C362BA17 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA12 ,  2H045DA02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (3件)

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