特許

J-GLOBAL ID：200903007770165750

処理装置

発明者： 飽本 正巳 ,  出口 洋一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-296840
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144585
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 装置外の火気が排気路を通り装置内に波及することや装置内の火気が装置内から工場全体に波及することを防止できる処理装置の提供。【解決手段】 システム外のホストコンピュータ106やシステム内の火災報知器13、14、15等から火災検知の通知を受けた制御部104は警報ランプ11を点灯させると共に、閉塞機構96、97の閉塞させるための閉塞信号を送り、排気路94、95を閉塞する。

請求項（抜粋）：

被処理体に対して有機溶剤を使う処理を施す処理室と、前記処理室内の雰囲気を装置外部に排出する排気路と、緊急時に前記排気路を塞ぐ閉塞手段とを具備することを特徴とする処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502

FI (5件)：

H01L 21/30 564 C ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/30 567 ,  H01L 21/30 569 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• レンジフード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-224312   出願人：富士工業株式会社
• 現像方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-011401   出願人：東京エレクトロン株式会社