特許

J-GLOBAL ID：200903007772317999

微小電圧測定回路,微小電圧測定方法,自動測定装置及び自動測定方法

発明者： 平田 甲子巳
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-238321
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080082
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】微小電圧測定回路,微小電圧測定方法,自動測定装置及び自動測定方法に関し、ードスイッチの試験装置及びリードスイッチの試験方法に関し、特に、半導体デバイスの絶縁試験などに用いられる自動測定装置及びその測定方法と、それを可能にする微小電圧測定回路及びその測定方法の提供を目的とする。【構成】容量成分CSを有する被測定対象3Aに電流を供給するパルス電圧発生手段1Aと、前記被測定対象3Aに接触する接触子4Aと、前記被測定対象3Aから出力される微小電圧ΔVを検出する微小電圧検出手段1Cと、前記パルス電圧発生手段1A,微小電圧検出手段1Cの入出力を制御する制御手段1Bとを具備し、微小電圧検出手段1Cが微小電圧ΔVと基準電圧VSとの比較をすることを含み構成する。

請求項（抜粋）：

容量成分(CS)を有する被測定対象(3A)に電流を供給するパルス電圧発生手段(1A)と、前記被測定対象(3A)に接触する接触子(4A)と、前記被測定対象(3A)から出力される微小電圧(ΔV)を検出する微小電圧検出手段(1C)と、前記パルス電圧発生手段(1A),微小電圧検出手段(1C)の入出力を制御する制御手段(1B)とを具備し、微小電圧検出手段(1C)が微小電圧(ΔV)と基準電圧(VS)との比較をすることを特徴とする微小電圧測定回路。

IPC (2件)：

G01R 19/00 ,  G01R 27/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-209179
  
• 特公昭58-056834