特許

J-GLOBAL ID：200903007779071480

波長変調分光器

発明者： 宮下 治三
出願人/特許権者： 日電アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154496
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341901
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 波長変調分光器において、振動子の振動特性を安定して望ましい状態に保持し、光スペクトルにおける輝線の測定感度およびS/N比を高め、使用環境や振動子の経時変化による測定精度への影響を排除し、さらに分光器内部に光源を設けないことにより測定光への迷光をなくし、分光器の構造を単純にする。【構成】 スリット4を通して入射した光2を反射させるための平面鏡6と、この平面鏡を振動させるバイモルフ型アクチュエータ5と、このアクチュエータを駆動する駆動回路7と、アクチュエータで変調された平面鏡6からの光2を分散させその回折スペクトルを取り出す回折スペクトル取出しユニット8,9,10と、この回折スペクトル取出しユニットによって分散された前記光2の特定波長成分のみを受光し、光変調信号を電気信号に変換する光電変換器13と、この光電変換器からの出力信号を、同期検波してスペクトル強度信号を得る同期検波回路16とを有し、前記バイモルフ型アクチュエータの振動周波数を常に共振周波数に保持するための発振周波数制御回路23を備える。

請求項（抜粋）：

スリットを通して入射した光を反射させるための平面鏡と、この平面鏡を所定周波数で振動させるための圧電型アクチュエータと、この圧電型アクチュエータを前記所定周波数で駆動する周波信号を出力する駆動回路と、前記圧電型アクチュエータによって変調された前記平面鏡からの前記光を分散させその回折スペクトルを取り出すための回折スペクトル取出し手段と、この回折スペクトル取出し手段によって分散された前記光の特定波長成分のみを受光し、受光した前記光に含まれる光変調信号を電気信号に変換する光電変換器と、この光電変換器からの出力信号を、前記圧電型アクチュエータを駆動する前記周波信号の2倍の周波数を有する周波信号で同期検波してスペクトル強度信号を得るための同期検波回路とを有する波長変調分光器において、前記圧電型アクチュエータにはバイモルフ型アクチュエータを用い、このバイモルフ型アクチュエータの振動周波数を常に共振周波数に保持するための発振周波数制御回路を備えたことを特徴とする波長変調分光器。

IPC (4件)：

G01J 3/433 ,  G01J 3/18 ,  G01J 3/443 ,  H05H 1/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-135737
  
• 特開平3-065079
  
• 特開平4-278908