特許

J-GLOBAL ID：200903007780762012

半導体装置及びその製造方法

発明者： 杉田 靖博 ,  上田 直樹 ,  山内 祥光
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329294
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133546
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】表面を平坦化して断線やアライメントずれを防止し、信頼性が高く、トランジスタ特性の安定した半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】半導体基板31表面に形成されたソース/ドレイン領域38、39と、ソース/ドレイン領域38、39間にゲート絶縁膜34を介して形成されたゲート電極とからなる半導体装置であって、ゲート電極が第1ゲート電極35と第2ゲート電極36とからなり、第1ゲート電極35は、半導体基板31表面に形成された溝内に、ソース/ドレイン領域38、39の底面よりもその底面が深く位置するように埋め込まれ、第2ゲート電極36は、第1ゲート電極35上面で第1ゲート電極35と接続されるとともに、さらに金属配線41に接続されてなる半導体装置。

請求項（抜粋）：

半導体基板表面に形成されたソース/ドレイン領域と、該ソース/ドレイン領域間にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極とからなる半導体装置であって、前記ゲート電極が第1ゲート電極と第2ゲート電極とからなり、前記第1ゲート電極は、半導体基板表面に形成された溝内に、ソース/ドレイン領域の底面よりもその底面が深く位置するように埋め込まれ、第2ゲート電極は、第1ゲート電極上面で第1ゲート電極と接続されるとともに、さらに金属配線に接続されてなることを特徴とする半導体装置。

IPC (4件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/43

FI (5件)：

H01L 21/28 H ,  H01L 21/28 Z ,  H01L 29/78 301 V ,  H01L 29/62 G ,  H01L 21/90 B

Fターム (118件)：

4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA05 ,  4M104AA06 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB24 ,  4M104CC05 ,  4M104DD19 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD66 ,  4M104DD72 ,  4M104DD75 ,  4M104FF06 ,  4M104FF14 ,  4M104FF26 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH12 ,  4M104HH14 ,  4M104HH20 ,  5F033GG00 ,  5F033GG01 ,  5F033GG02 ,  5F033HH04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH26 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ26 ,  5F033KK04 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK21 ,  5F033KK26 ,  5F033LL04 ,  5F033MM07 ,  5F033NN20 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ49 ,  5F033QQ59 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR15 ,  5F033VV06 ,  5F033XX01 ,  5F033XX02 ,  5F033XX03 ,  5F033XX31 ,  5F033XX34 ,  5F140AA15 ,  5F140AA40 ,  5F140BA01 ,  5F140BA03 ,  5F140BA07 ,  5F140BA09 ,  5F140BA10 ,  5F140BD05 ,  5F140BD07 ,  5F140BD10 ,  5F140BE03 ,  5F140BE07 ,  5F140BE09 ,  5F140BE10 ,  5F140BF03 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF11 ,  5F140BF13 ,  5F140BF14 ,  5F140BF15 ,  5F140BF17 ,  5F140BF18 ,  5F140BF43 ,  5F140BF58 ,  5F140BF60 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG38 ,  5F140BG40 ,  5F140BG58 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140CA03 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC07 ,  5F140CC08 ,  5F140CE07 ,  5F140CE08

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平2-148734
  
• 特開昭52-082079
  
• 特開平2-046775
  
• 特開昭52-082079
  
• 特開平2-148734
  
• 特開平2-046775