特許
J-GLOBAL ID：200903007783630354
光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045470
公開番号（公開出願番号）：特開平6-263452
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【目的】 この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、高濃度に機能性物質をドープできる光導波路の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 基板4上に、ゾルゲル法により透明ガラス化する加熱温度付近の軟化点を有する第1のクラッド材料を堆積した後、透明ガラス化して下側クラッド部8を形成し、この下側クラッド部8上に、ゾルゲル法により、機能性物質として希土類元素をドープした薄膜を積層してコア部10を形成し、さらにコア部10が形成された下側クラッド部8上に、ゾルゲル法により透明ガラス化する加熱温度付近の軟化点を有する第2のクラッド材料を堆積させた後、透明ガラス化して上側クラッド部11を形成することを特徴としている。
請求項（抜粋）：
基板上に、第1のクラッド材料を堆積させた後、透明ガラス化して下側クラッド部を形成し、前記下側クラッド部上に、前記ゾルゲル法により機能性物質をドープした薄膜を積層した後、所定形状にパターニングしてコア部を形成し、前記コア部が形成された下側クラッド部上に、さらに第2のクラッド材料を堆積させた後、透明ガラス化して上側クラッド部を形成する光導波路の製造方法。
IPC (4件)：
C03B 8/02
, C03B 8/04
, C03B 20/00
, G02B 6/12
