特許

J-GLOBAL ID：200903007783792400

含フツ素ポリイミド前駆体組成物および含フツ素ポリイミドのパターン製造法

発明者： 児嶋 充雅 ,  柴田 貴子 ,  関根 浩良 ,  佐藤 任廷
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-182764
公開番号（公開出願番号）：特開平5-025387
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【構成】 (A)カルボン酸二無水物とジアミンとから得られる一般式(1)【化1】(式中、R1は4価の有機基、R2は2価の有機基、nは1以上の整数を示し、R1およびR2の少なくとも一方はフッ素原子を有する)で表わされるポリアミド酸と(B)熱により重合が可能な炭素-炭素二重結合を有するアミン化合物とを含有してなる含フッ素ポリイミド前駆体組成物ならびにこの組成物を用いた含フッ素ポリイミドのパターン製造法。【効果】 この組成物により、耐溶剤性に優れ、かつアルカリ水溶液によるエッチングが可能な被膜が得られるため、パターンの製造に際し、現像とエッチングを同時に行うことができるとともに、耐溶剤性に優れ、誘電率の低いポリイミドのパターンが得られる。

請求項（抜粋）：

(A)カルボン酸二無水物とジアミンとから得られる一般式(1)【化1】(式中、R1は4価の有機基、R2は2価の有機基、nは1以上の整数を示し、R1およびR2の少なくとも一方はフッ素原子を有する)で表わされるポリアミド酸と(B)熱により重合が可能な炭素-炭素二重結合を有するアミン化合物とを含有してなる含フッ素ポリイミド前駆体組成物。

IPC (4件)：

C08L 79/08 LRC ,  H01L 21/312 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504