特許

J-GLOBAL ID：200903007786753724

液浸リソグラフィシステム

発明者： マイケル ビー バナード
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-113925
公開番号（公開出願番号）：特開2004-320016
出願日： 2004年04月08日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】投影レンズとウエハテーブルとの間の水満たしを速やかに行なうことができる液浸リソグラフィーシステムを提供する。【解決手段】投影レンズPLとウエハテーブルとの間の空間3に水LQを供給するときに、その空間3の空気を除去(排気)する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

液浸リソグラフィシステムにおいて、 投影レンズと、 ウエハテーブルとを備え、 前記投影レンズと前記ウエハテーブルとの間の空間に液体を供給するときに、その空間の空気を除去することを特徴とする液浸リソグラフィシステム。

IPC (1件)：

H01L21/027

FI (1件)：

H01L21/30 515D

Fターム (5件)：

5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046CC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 国際公開第99/49504号パンフレット