特許
J-GLOBAL ID：200903007790117387
走査型プローブ顕微鏡リアルタイム表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152300
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340712
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】走査型プローブ顕微鏡で、試料表面の物理情報の時間的な変化を観察しながら、そのときの測定データを詳細に分析できるようにすること。【構成】マイクロコンピュータ10は、連続測定を行ないながら各測定点で測定したデータを、ホストコンピュータ28上の画像記憶部28Aとリアルタイム表示用画像記憶部30の両方に次々に格納していき、リアルタイム表示用画像記憶部30に格納された測定画像を表示装置32で順次更新して画像表示していくと同時に、ホストコンピュータ28の画像記憶部28Aに測定画像を連続して格納しておく。
請求項（抜粋）：
プローブを試料表面に沿って所定範囲走査して試料表面像を得る走査型プローブ顕微鏡に於いて、測定を制御するマイクロコンピュータと、測定データを記憶する第1の画像記憶手段と測定データを表示する第1の画像表示手段とを有し、前記第1の画像記憶手段に記憶された測定データを加工して前記第1の画像表示手段に表示するホストコンピュータ手段と、前記測定データを記憶する第2の画像記憶手段と、前記第2の画像記憶手段に格納された前記測定データを表示する第2の画像表示手段と、各測定点で測定した測定データを、前記第1の画像記憶手段と前記第2の画像記憶手段の両方に順次格納させる制御手段と、を具備し、前記第2の画像記憶手段に格納した測定データを前記第2の表示手段で瞬時に表示していくことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡リアルタイム表示装置。
IPC (4件)：
G01B 7/34
, G01N 27/72
, G06F 3/153 320
, H01J 37/28
