特許

J-GLOBAL ID：200903007790306023

光強度分布の評価方法、照明光学装置およびその調整方法、露光装置、および露光方法

発明者： 北 尚憲
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-061880
公開番号（公開出願番号）：特開2006-245454
出願日： 2005年03月07日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】 たとえば照明光学装置の照明瞳面に形成される光強度分布を、その外形だけでなく不均一な分布も考慮して実効的に等価で均一な光強度分布として評価する。【解決手段】 結像光学系を含む光学系の瞳面に形成された所定の光強度分布を、この所定の光強度分布と実効的に等価で均一な光強度分布として評価する方法。所定の光強度分布と結像光学系の瞳関数とに基づいて光学伝達関数を算出する算出工程(S2,S3)と、算出工程で得られた光学伝達関数に基づいて、実効的に等価で均一な光強度分布を規定するパラメータを決定する決定工程(S4)とを含む。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

結像光学系を含む光学系の瞳面に形成された所定の光強度分布を、該所定の光強度分布と実効的に等価な特定光強度分布として評価する方法であって、 前記所定の光強度分布と前記結像光学系の瞳関数とに基づいて光学伝達関数を算出する算出工程と、 前記算出工程で得られた前記光学伝達関数に基づいて、前記実効的に等価な特定光強度分布を規定するパラメータを決定する決定工程とを含むことを特徴とする評価方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

5F046BA03 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046CB23 ,  5F046DA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-074240   出願人：株式会社ニコン