特許

J-GLOBAL ID：200903007794359555

ウェーハ研磨装置

発明者： ミハイル ツーゾフ
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368640
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170795
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ウェーハエッジの過剰研磨を防止することによりウェーハ全面を均一に研磨することができるウェーハ研磨装置を提供する。【解決手段】本発明のウェーハ研磨装置10によれば、保持ヘッド14に対して研磨パッド20の回転方向上流側に押付部材16を配置し、保持ヘッド14に対して研磨パッド20の回転方向下流側に押付部材18を配置し、各々の押付部材16、18の押圧力を加圧装置76、77によって独立して制御する。これにより、研磨パッド20に生じる波打ち現象を阻止することができ、よって、ウェーハ全面を均一に研磨することができる。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持ヘッドに保持し回転する研磨パッドに押し付けて、ウェーハの表面を研磨するウェーハ研磨装置において、前記保持ヘッドに対して前記研磨パッドの回転方向上流側に、該研磨パッドに押し付けられる第1押付部材が配置されるとともに、前記保持ヘッドに対して前記研磨パッドの回転方向下流側に、該研磨パッドに押し付けられる第2押付部材が配置されていることを特徴とするウェーハ研磨装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

H01L 21/304 622 G ,  H01L 21/304 622 K ,  B24B 37/00 B

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AC01 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17