特許
J-GLOBAL ID：200903007800724597
カセット載置装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-336469
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181198
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 カセットを載置したり取り出したりするための作業スペースをクリーンベンチ内に確保せずに済むようにする。【構成】 装置本体8に、鉛直方向の軸芯P周りで回転可能に、基板を多段に収容するカセット5を載置するカセット載置台10を取り付け、基板搬送手段による基板の搬入・搬出を許容する姿勢と通路1側からカセット5を取り出しやすい姿勢とに変更できるようにするとともに、基板搬送手段による基板の搬入・搬出を許容する姿勢において、固定機構17によってカセット載置台10を装置本体8に固定する。
請求項（抜粋）：
装置本体に、基板を多段に収容するカセットを着脱可能に載置するカセット載置装置であって、前記カセットを載置するカセット載置台を前記装置本体に回転可能に設けるとともに、基板搬送手段による前記基板の搬出・搬入を許容する姿勢において前記カセット載置台を前記装置本体に固定する固定機構を付設したことを特徴とするカセット載置装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G11B 7/26
, B65D 85/86
