特許
J-GLOBAL ID：200903007805313544
裏面洗浄装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170246
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343383
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板等に塗布した塗布液のうち裏面に廻り込んだ塗布液を効率よく除去する。【構成】 スピンチャック13の正転時には第1ノズル14aのみから洗浄液Sを噴出し、第2ノズル14bからは洗浄液Sを噴出しないようにして、板状被処理物Wの辺のうち、回転方向を基準として下流側(もともと洗浄液が貯まりやすい部分)を集中して洗浄し、次いで、スピンチャック13を逆転し、今度は第2ノズル14bのみから洗浄液Sを噴出し、板状被処理物Wの辺のうち、回転方向を基準として下流側を集中して洗浄する。
請求項（抜粋）：
板状被処理物の裏面を吸着して板状被処理物を回転せしめるスピンチャックと、板状被処理物の表面に塗布した塗布液のうち裏面に廻り込んだ塗布液の洗浄液を噴出するノズルを備えた裏面洗浄装置において、前記スピンチャックは板状被処理物の回転方向を切り換えるべく正逆回転し、また前記ノズルの洗浄液噴出方向の中心は前記スピンチャックの中心からノズルへ向かう線と略一致することを特徴とする裏面洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
