特許
J-GLOBAL ID:200903007805892030

画像検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大井 正彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-355609
公開番号(公開出願番号):特開平5-175302
出願日: 1991年12月24日
公開日(公表日): 1993年07月13日
要約:
【要約】【目的】 画像の検査を迅速に行うことができる画像検査装置を提供することを目的とする。【構成】 検査対象である画像情報を有する被検査物を搬送する搬送手段と、被検査物の画像情報を検出する画像情報検出手段と、搬送手段により搬送された被検査物の位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段よりの信号を受けて被検査物と画像情報検出手段との位置関係を調整する位置調節手段と、基準画像情報を記憶する基準画像情報記憶手段と、画像情報検出手段よりの検出信号を受けて、基準画像情報と比較する画像情報比較手段と、画像情報比較手段よりの信号を受けて、検出した画像情報と基準画像情報との相違が検査基準を超える場合にのみ、当該検出した画像情報を記憶する画像情報記憶手段とを備えてなることを特徴とする。
請求項(抜粋):
検査対象である画像情報を有する被検査物を搬送する搬送手段と、被検査物の画像情報を検出する画像情報検出手段と、搬送手段により搬送された被検査物の位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段よりの信号を受けて被検査物と画像情報検出手段との位置関係を調整する位置調節手段と、基準画像情報を記憶する基準画像情報記憶手段と、画像情報検出手段よりの検出信号を受けて、基準画像情報と比較する画像情報比較手段と、画像情報比較手段よりの信号を受けて、検出した画像情報と基準画像情報との相違が検査基準を超える場合にのみ、当該検出した画像情報を記憶する画像情報記憶手段とを備えてなることを特徴とする画像検査装置。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  G01N 21/88

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