特許
J-GLOBAL ID：200903007809091546
基板支持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-271282
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111821
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 基板を高温処理する場合、プロセスガスの回り込み等により基板処理の均一性が悪影響を受けることを防止することができるようにする。【解決手段】 基板支持装置は、サセプタ23と、昇降駆動装置24と、複数の基板支持ピン25と、移動阻止部材26とを有する。サセプタ23は、水平に配設され、基板Wを上面231に載せるようにして支持する。昇降駆動装置24は、サセプタ23を基板Wを支持する第1の位置とこの第1の位置より低く基板Wの支持を待機する第2の位置との間で昇降駆動する。基板支持ピン25は、サセプタ23に対して上下方向に移動自在に支持され、サセプタ23が第2の位置に位置決めされている場合、基板Wを支持する。移動阻止部材26は、サセプタ23が第1の位置から第2の位置に移動させられるとき、基板支持ピン25の下方への移動を阻止する。
請求項（抜粋）：
水平に配設され、基板を上面に載せるようにして支持する板状の第1の基板支持体と、この第1の基板支持体を前記基板を支持する第1の位置とこの第1の位置より低く前記基板の支持を待機する第2の位置との間で昇降駆動する昇降駆動手段と、前記第1の基板支持体に対して上下方向に移動自在に支持され、前記第1の基板支持体が前記第2の位置に位置決めされている場合、前記基板を上端部に載せるようにして支持する複数の棒状の第2の基板支持体と、前記第1の基板支持体が前記第1の位置から前記第2の位置に移動させられるとき、前記第2の基板支持体の下方への移動を阻止する移動阻止部材とを備えたことを特徴とする基板支持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, B23Q 3/15 D
