特許
J-GLOBAL ID：200903007809867331
高温用圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-130279
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019981
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】ダイヤフラム部の厚さ方向の温度差の変動に伴うダイヤフラム部の熱撓み量(軸方向)の変化に起因する出力誤差を低減する。【構成】ダイヤフラム部20の被測定圧力作用面Aに高温流体の圧力が作用すると、ダイヤフラム部20が撓み、この撓みは圧力伝達部材7、8を通じて感歪素子6に伝達され、感歪素子6は受容する圧力に応じた電気信号を出力する。第1発明では、ダイヤフラム部2の中央部が高温流体と反対側へ窪んでいるので、また、第2発明では、断熱プレートが高温流体などからダイヤフラム部の表面Aをに放射される放射熱の多くを遮断するので、ダイヤフラム部2の上記撓みが低減され、それによる出力誤差が削減できる。
請求項（抜粋）：
筒壁に囲まれた孔部を有するハウジングと、前記孔部に保持される感歪素子と、周縁部が前記筒壁に固定されて前記孔部の開口を遮蔽するとともに被測定圧力作用面に加えられる高温流体圧力に応じて前記孔部の軸方向へ撓むダイヤフラムと、前記孔部内にて前記ダイヤフラム及び前記感歪素子間に介設されて前記ダイヤフラムの撓みを前記感歪素子に伝達する圧力伝達部材とを備える高温用圧力センサにおいて、前記ダイヤフラムの中央部は前記孔部側へ窪んでいることを特徴とする高温用圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 23/10
, G01L 9/08
, G01L 19/04
