特許
J-GLOBAL ID：200903007827290009
静電吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-115781
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283609
出願日： 1996年04月12日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 冷却または加熱時の熱伝達効率が高い静電吸着装置を提供する。【解決手段】 冷却または加熱機構が組み込まれたベース部材の表面に、セラミックスを基板とする静電チャック板を全面に亘りろう付することにより、静電チャック板の裏面全面から放熱または吸熱でき、機械的締結方式や接着方式に比較して冷却または加熱時の熱伝達効率が著しく向上する。また、ベース部材と静電チャック板との間に、該両者の中間若しくは静電チャック板と同等の熱膨張係数を有するインサート材を介在させることにより、ろう付後の冷却時、その他温度変化時の熱応力が緩和され、静電チャック板が好適に保護され、その耐久性も向上する。
請求項（抜粋）：
基板を保持するための静電吸着装置であって、前記基板の冷却または加熱機構が組み込まれたベース部材の表面に、セラミックスを基板とする静電チャック板を全面に亘りろう付したことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, H01L 21/203
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H01L 21/68 R
, H01L 21/203 S
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
