特許

J-GLOBAL ID：200903007829769239

レーザ加工装置

発明者： 山田 ▲泰▼史
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185131
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029465
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、容器に対して被加工物を簡単に取付け・取り外しすることができるとともに、取付け後に簡単に容器内を加工雰囲気に調整することができ、さらに、光学系と窓材の高度な位置決め作業を不要にできるとともに窓材の汚れによるレーザ光強度の低下を抑制して被加工物の加工精度が低下するのを防止することができるレーザ加工装置を提供するものである。【解決手段】 レーザ光路中に、上端部がXYZステージ7に対向して開口するとともに底部が閉塞する容器8を設け、該容器8に、その上端部に設けられた縮小レンズ5と、底部に設けられたOリング12と、該容器8の側壁部8bをXYZステージ7に対して当接、離隔させるよう移動させる可動部20aと、容器8内部を減圧状態に設定する真空バルブ11a、11bと、を設けている。

請求項（抜粋）：

可動ステージに載置された有機物からなる被加工物に、レーザ発振器からレーザ光を照射することにより該被加工物の表面の除去加工を行なうレーザ加工装置であって、レーザ光路中に、一端部が可動ステージに対向して開口するとともに他端部が閉塞する容器を設け、該容器は、他端部に設けられレーザ発振器から被加工物にレーザ光を透過して照射する光学系と、一端部に設けられた密閉手段と、該容器を可動ステージに対して当接、離隔させるよう移動させる移動手段と、容器内部を所定の雰囲気状態に設定する設定手段と、を有し、前記移動手段によって容器が可動ステージに当接されたとき、容器内が密閉手段によって密閉されるとともに、容器内が所定の雰囲気状態に設定されることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (6件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/08 ,  B23K 26/12 ,  B23K 26/14 ,  B23K 26/16 ,  B23K 37/00

FI (6件)：

B23K 26/00 A ,  B23K 26/08 H ,  B23K 26/12 ,  B23K 26/14 A ,  B23K 26/16 ,  B23K 37/00 A