特許
J-GLOBAL ID：200903007836627822
電子部品の熱圧着装置および熱圧着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349354
公開番号（公開出願番号）：特開2002-158425
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：
【要約】【課題】 圧着ツールの下面のそり変形の補正を効率よく高精度で行い、圧着品質を確保することができる電子部品の熱圧着装置および熱圧着方法を提供することを目的とする。【解決手段】 電子部品を基板に熱圧着する圧着ツール21の加熱において、長手方向に平行な側面に上下2段にヒートブロック14A、14Bを、また反対側の側面にヒートブロック15を配設し、圧着ツール21の下端に近接するヒートブロック14Aの温度が圧着ツール21による圧着温度に関連づけられた設定温度になるよう制御するとともに、ヒートブロック14Bを圧着ツール21の上下方向のそりを補正する温度で制御し、さらに反対面のヒートブロック15を圧着ツール21の水平方向のそり変形を補正する温度で制御する。
請求項（抜粋）：
加熱された圧着ツールの当接部を電子部品に押し当ててこの電子部品を基板に圧着する電子部品の熱圧着装置であって、前記当接部近傍の圧着ツールの側面より圧着ツールを加熱する第1発熱部と、前記第1発熱部による圧着ツールの加熱位置よりも上方において圧着ツールの側面より圧着ツールを加熱する第2発熱部と、前記第2発熱部によって加熱される圧着ツールの側面とは反対側の側面より圧着ツールを加熱する第3発熱部と、圧着条件で決められた圧着温度を実現するための設定温度に基づいて前記第1発熱部のヒーターを制御する第1ヒーター制御部と、前記圧着ツールの上下方向の変形を補正する目的で設定された設定温度に基づいて前記第2発熱部を制御する第2ヒーター制御部と、前記圧着ツールの水平方向の変形を補正する目的で設定された設定温度に基づいて前記第3発熱部を制御する第3ヒーター制御部とを備えたことを特徴とする電子部品の熱圧着装置。
IPC (3件)：
H05K 3/32
, H01L 21/60 311
, H05K 3/34 507
H05K 3/32 B
, H01L 21/60 311 T
, H05K 3/34 507 N
5E319AA03
, 5E319AC01
, 5E319BB16
, 5E319CC12
, 5E319CC61
, 5E319CD04
, 5E319CD26
, 5E319GG03
, 5E319GG20
, 5F044PP11
