特許

J-GLOBAL ID：200903007840071944

フォトレジストコーター

発明者： 滝澤 ▲琢▼也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111845
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326015
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【構成】半導体プロセスにおけるフォト工程において、レジストを塗布する時に、レジストの吐出量を一定に保つために、レジスト吐出ノズル部分に計量用シリンダー13を設け、計量用シリンダーで計量してからレジストを吐出するフォトレジストコーター。また、レジストと溶剤の切り換えが可能なように3方弁を設け、普段は配管内を溶剤で充満させる手段を取る。レジスト加圧用のN2ライン1、加圧タンク3、レジストの入った瓶4、3方弁11、空圧制御弁9、シリンダー付きノズル13、ステッピングモーター16、ギヤ15、ボールネジ14、溶剤加圧用N2ライン、等から構成される。【効果】レジストの粘度変化、加圧用N2の圧力低下、加圧用N2の配管内でのリーク、硬化したレジストによる空圧制御弁・3方弁の詰まりなどにより、レジスト吐出量が変化し塗布ムラや膜圧異常が発生する事を防止できる。

請求項（抜粋）：

半導体プロセスにおけるフォト工程において、レジストを塗布する時に、レジストの吐出量を一定に保つために、レジスト吐出ノズル部分に計量用シリンダーを設けたことを特徴とするフォトレジストコーター。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05B 12/00 ,  G03F 7/16 501

FI (2件)：

H01L 21/30 361 C ,  H01L 21/30 361 D