特許
J-GLOBAL ID:200903007841144368

水晶合成のためのSTカットおよびATカット方位種晶体およびその製作方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 義明
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-522768
公開番号(公開出願番号):特表平11-501000
出願日: 1996年10月09日
公開日(公表日): 1999年01月26日
要約:
【要約】水晶合成のためのSTカットおよびATカットクォーツ種晶体18,40およびその製作方法100が開示されている。+Z軸22から-Y軸24へとほぼX軸20の回りに約42.75度回転された角度を有しかつSTカットを規定する拡張したクォーツ種晶体18が提供され、かつクォーツ結晶バー32がその上に成長される。同様に、+Z軸22から-Y軸24へとほぼX軸20の回りに約35.25度回転された角度を有しかつATカットを規定する拡張したクォーツ種晶体40が提供されかつその上にクォーツ結晶バー48が成長される。各々の場合に、その後のクォーツ結晶バー32,48は種晶体18,40に平行にウェーハ化することができ、廃棄物68を低減し、再使用のため種晶体18,40を再生し、介在する種晶部分なしにウェーハ70を製造し、かつ工場の容量を増大する。
請求項(抜粋):
結晶性溶液中でクォーツの迅速な結晶成長を促進するための種晶体(seed body)であって、 (i)+Z軸から-Y軸に向かってほぼX軸の回りに約39度〜約55度回転された、および(ii)+Z軸から-Y軸に向かってほぼX軸の回りに約22度〜約38度回転された角度からなるグループから選択された角度で水晶バーから切断されたプレート、 からなる結晶性溶液中でクォーツの迅速な結晶成長を促進するための種晶体。
IPC (2件):
C30B 29/18 ,  C30B 7/10
FI (2件):
C30B 29/18 ,  C30B 7/10

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