特許
J-GLOBAL ID：200903007845264678
静圧気体軸受
出願人/特許権者：
黒田精工株式会社
黒田精工株式会社 について
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134338
公開番号（公開出願番号）：特開平9-296825
出願日： 1996年04月30日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【目的】 圧力分布を容易に均一化する。【構成】 軸11の端面11aに、給気室12に連通する例えば6個の円弧状の通気孔13を形成する。通気孔13には、大きい通気係数と所定の剛性を有する多孔体14を取り付ける。多孔体14を取り付けた軸11の端面11aにガラス15を100〜1000μmの厚さに付着する。ガラス15には、通気孔13と同一形状のポケット16を通気孔13に一致する位置に設け、ポケット16には、多孔体14に連通する例えば3個のオリフィス17を等間隔で形成する。ポケット16やオリフィス17はレーザー加工又は放電加工により形成する。
請求項（抜粋）：
圧縮気体を流通させる通気孔と、該通気孔から流入する前記圧縮気体の流量を制限するオリフィスと、該オリフィスから流出する前記圧縮気体を拡散させるポケットとを有する静圧気体軸受において、前記通気孔内に多孔体を取り付け、該多孔体の表面を封止材により封止し、該封止材に前記ポケットを形成し、前記ポケットに複数の前記オリフィスを形成したことを特徴とする静圧気体軸受。
引用特許：
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