特許

J-GLOBAL ID：200903007848272701

耐食性複合部材およびその製造方法

発明者： 佐藤 政宏
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-027286
公開番号（公開出願番号）：特開2001-220243
出願日： 2000年01月31日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】耐熱性に優れた窒化珪素と酸窒化珪素との複合材料からなり、パーティクルの発生を抑制し得る耐食性複合部材とその製造方法を提供する。【解決手段】窒化珪素および酸窒化珪素を主相とし、周期律表第2a族元素または第3a族元素の酸化物を0.5〜3モル%、二酸化珪素を20〜60モル%を含み、これらのモル比が10以上、相対密度が70%以上、かつ陽イオン不純物の総量が0.01重量%以下である。

請求項（抜粋）：

腐食性ガスあるいはプラズマと直接接触する表面が、窒化珪素と酸窒化珪素との複合材料を主相とし、周期律表第2a族元素(A)または第3a族元素(RE)を酸化物換算(AOまたはRE2O3)で合計で0.5〜3モル%、過剰酸素を二酸化珪素換算(SiO2)で20〜60モル%の割合でそれぞれ含み、かつSiO2/(AO+RE2O3)が10以上、かつ陽イオン不純物の総量が0.1重量%以下、相対密度が70%以上の焼結体からなることを特徴とする耐食性複合部材。

IPC (3件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/58 301 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

C04B 35/58 301 ,  C04B 35/58 102 C ,  H01L 21/302 B

Fターム (25件)：

4G001BA04 ,  4G001BA05 ,  4G001BA08 ,  4G001BA09 ,  4G001BA11 ,  4G001BA32 ,  4G001BA71 ,  4G001BA81 ,  4G001BB32 ,  4G001BB51 ,  4G001BB67 ,  4G001BB71 ,  4G001BB73 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC56 ,  4G001BD37 ,  4G001BE33 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA13 ,  5F004DA29