特許

J-GLOBAL ID：200903007855516489

結晶シート製造装置、結晶シート製造方法、基板および太陽電池

発明者： 山下 善二郎 ,  矢野 光三郎 ,  布居 徹
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-187747
公開番号（公開出願番号）：特開2003-001162
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月07日
要約：

【要約】【課題】 平坦かつ均一な結晶シートを低コストで製造することが可能な結晶シート製造装置および結晶シート製造方法、さらにこの結晶シート製造方法を用いて製造される基板およびこの基板を用いた太陽電池を提供する。【解決手段】 結晶シート製造装置1は、外周面を有する回転体と、回転体の外周面上に、回転体の回転軸6と平行な軸のまわりに回転可能に支持され、融液9中に浸漬されることにより結晶シート21が形成される表面を有する基体4a〜4f、5a〜5fとを備える。

請求項（抜粋）：

外周面を有する回転体と、前記回転体の外周面上に、前記回転体の回転軸と平行な軸のまわりに回転可能に支持され、融液中に浸漬されることにより結晶シートが形成される表面を有する基体とを備える、結晶シート製造装置。

IPC (4件)：

B05C 3/09 ,  C01B 33/02 ,  H01L 21/208 ,  H01L 31/04

FI (4件)：

B05C 3/09 ,  C01B 33/02 E ,  H01L 21/208 D ,  H01L 31/04 X

Fターム (33件)：

4F040AA02 ,  4F040AA12 ,  4F040AB06 ,  4F040AC01 ,  4F040BA45 ,  4F040CC07 ,  4F040CC15 ,  4F040CC20 ,  4F040DB10 ,  4F040DB15 ,  4F040DB30 ,  4G072AA01 ,  4G072BB02 ,  4G072BB12 ,  4G072GG01 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072HH01 ,  4G072NN01 ,  4G072UU02 ,  5F051AA03 ,  5F051CB04 ,  5F051CB30 ,  5F053AA03 ,  5F053BB04 ,  5F053BB08 ,  5F053DD01 ,  5F053GG02 ,  5F053HH05 ,  5F053LL05 ,  5F053RR01 ,  5F053RR05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 多結晶シリコンシートの製造装置及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-254017   出願人：シャープ株式会社