特許

J-GLOBAL ID：200903007856575020

複合形状ワークの検査方法、及び検査装置

発明者： 岡本 英明 ,  岸浪 健史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030877
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222319
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【目的】 複合位置度公差方式によって公差指定された複合形状ワークに対して、公差規格に忠実なワークの合否判定を行う方法を得ること。【解決手段】 複合形状ワークの個々の形状要素の形状測定データから、前記ワークが、ワークに指定された複合位置度公差方式による公差規格を満足するか否かを判定する方法において、前記ワークが係合する相手ワークの形状を、複数の要素モデルを組み合わせて構成した複合モデルであって、データム指定された要素に対応するデータム要素モデルの寸法を実効寸法とした複合モデルを、前記複合モデルの要素モデル間の相対位置を保持しつつ、前記データム要素がデータム要素測定データの範囲内で浮動させる、と同時に前記複合モデルのデータム要素以外の各要素モデルが、夫々に対応する形状要素の形状測定データの範囲内で各要素モデルの寸法の最小値を最大化させて得た寸法を、対応する形状要素の実効寸法と比較する。

請求項（抜粋）：

ワークの複合形状を構成する個々の形状要素の実測された形状測定データから、前記複合形状が、前記複合形状に指定された複合位置度公差方式による公差規格を満足するか否かを判定する方法において、前記ワークが係合する相手ワークの複合形状の、少なくとも係合する部分を複数の要素モデルの組み合わせとして構成した複合モデルであって、データム指定された形状要素であるデータム要素に対応するデータム要素モデルの寸法を実効寸法とした複合モデルを、前記複合モデルを構成する要素モデル間の相対位置を保持しながら、前記データム要素が前記データム要素を実測して得たデータム要素測定データの範囲を逸脱しない範囲で浮動させる、と同時に、前記複合モデルのデータム要素以外の各要素モデルが、夫々に対応する形状要素を実測して得た各形状測定データの範囲を逸脱しない範囲で各要素モデルの寸法の最小値を最大化させて得た寸法を、対応する形状要素の実効寸法と比較することを特徴とするワーク形状の検査方法。