特許

J-GLOBAL ID：200903007859285872

有機ELディスプレイパネル製造装置

発明者： 須志原 友和 ,  笠井 省三
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-233995
公開番号（公開出願番号）：特開2009-064758
出願日： 2007年09月10日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：

【課題】真空蒸着室内への有機物の着膜を防止すること。【解決手段】有機ELディスプレイパネル製造装置は、真空蒸着室9内で蒸着源8から発した有機材料を有機ELディスプレイパネルに用いられる基板3に蒸着させるようになっている。そして、有機ELディスプレイパネル製造装置は、基板3を保持する基板トレイ1と、基板トレイ1の蒸着源の側に突設された防着部材2と、を備えている。有機ELディスプレイパネル製造時における真空蒸着室への着膜を著しく低減することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空蒸着室内で蒸着源から発した有機材料を有機ELディスプレイパネルに用いられる基板に蒸着させる有機ELディスプレイパネル製造装置において、 前記基板を保持する基板保持部材と、 前記基板保持部材の前記蒸着源の側に突設された防着部材と、を備え、 前記防着部材は、蒸着源から発した有機材料の拡散領域を受け入れる位置に突設されている、 ことを特徴とする有機ELディスプレイパネル製造装置。

IPC (6件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/56 ,  C23C 14/50 ,  H01L 51/50

FI (7件)：

H05B33/10 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 G ,  C23C14/24 J ,  C23C14/56 J ,  C23C14/50 F ,  H05B33/14 A

Fターム (18件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB03 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  4K029BA62 ,  4K029BC00 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029DA10 ,  4K029DB02 ,  4K029HA01 ,  4K029JA01 ,  4K029KA01 ,  4K029KA02 ,  4K029KA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 誘電体膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-007640   出願人：株式会社デンソー
• 有機電界発光素子の垂直蒸着方法,その装置,及びそれに使用される蒸着源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-297894   出願人：三星エスディアイ株式会社

審査官引用 (4件)

• スパッタリング装置、及びその防着板交換方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-161754   出願人：株式会社日立製作所
• 成膜装置及び成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-060097   出願人：株式会社アルバック
• スパッタリング装置およびそれを用いた成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-291762   出願人：株式会社日立製作所
• プラズマディスプレイパネルの成膜装置、該パネルの製造方法及びプラズマ表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-286319   出願人：NECプラズマディスプレイ株式会社