特許
J-GLOBAL ID：200903007861861724
インクジェット記録ヘッドのノズル形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 慶治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-134046
公開番号（公開出願番号）：特開平6-087216
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】 密着性がよくかつ耐摩耗性に優れた撥水層をノズル形成部材上に設けること、【構成】エキシマレーザーによるアブレーションが可能なプラスティックで形成したノズル形成部材1の表面に、含弗素重合体よりなるコーティング層5を20nm乃至700nmの厚さに形成し、ついでこのノズル形成部材1の背面からエキシマレーザーを照射しその部分に高濃度の励起種を生成して、その分解・飛散する力を利用してノズル7を形成するとともにノズル7上のコーティング層5を除去するようにしたもの。
請求項（抜粋）：
エキシマレーザーによるアブレーションが可能なプラスチックにより形成したノズル形成部材の表面に、該ノズル形成部材のアブレーションによってノズル上より完全に除去され得る程度の少なくとも20nm以上の膜厚を有する含弗素重合体よりなるコーティング層を施す工程と、上記ノズル形成部材の背面よりノズル形成部位に向けてエキシマレーザーを照射するノズル形成工程と、からなるインクジェット記録ヘッドのノズル形成方法。
IPC (2件)：
B41J 2/135
, B23K 26/00 330
