特許
J-GLOBAL ID：200903007862487940
データ記憶光ディスク用スタンパーを製造するための方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-506635
公開番号（公開出願番号）：特表平11-501434
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】データ記憶光ディスク用スタンパーを製造するための方法は、約4.5MPa・√mの靭性、約1nmの表面粗さ、及び、約6μmの平面度を有していて、化学的に気相成長された炭化ケイ素基板を準備する工程と、該基板の表面にネガ形のフォトレジストを設ける工程とを備える。基板は、約120mmよりも大きな直径、及び、約1mmよりも大きい厚みを有している。次に、ネガ形のフォトレジストをレーザで露光して、該フォトレジストにデータパターンの陰影を形成する。フォトレジストを現像し、また、セラミック基板をイオン加工して、該基板にデータパターンを形成する。これにより、リッジ及びランドから成る螺旋トラックが形成され、該螺旋トラックにおいては、各々のリッジは、ほぼ20乃至200nmの範囲の高さを有している。データパターンを基板にイオン加工した後に、現像されたフォトレジストを基板から剥離する。
請求項（抜粋）：
データ記憶光ディスク用スタンパーを製造する方法であって、 少なくとも約1MPa・√mの靭性を有するイオン加工可能なセラミック基板を準備する工程と、 前記基板の表面にフォトレジストの層を設ける工程と、 前記フォトレジストを電磁エネルギ源で露光して、前記フォトレジストにデータパターンを形成する工程と、 前記フォトレジストを現像する工程と、 前記データパターンをイオン加工して、少なくとも1つのリッジ及び少なくとも1つのランドから成る螺旋トラックを前記基板に形成する工程とを備えることを特徴とするデータ記憶光ディスク用スタンパーの製造方法。
IPC (2件)：
G11B 7/26 511
, C23C 16/42
G11B 7/26 511
, C23C 16/42
