特許
J-GLOBAL ID：200903007867894225
成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030623
公開番号（公開出願番号）：特開平7-238377
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 綺麗に膜が形成される技術を提供することである。【構成】 飛来する粒子を支持体に堆積させることにより膜を構成する成膜装置であって、前記支持体がガイドされるロールの径が可変調節可能に構成されてなる成膜装置。
請求項（抜粋）：
飛来する粒子を支持体に堆積させることにより膜を構成する成膜装置であって、前記支持体がガイドされるロールの径が可変調節可能に構成されてなることを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
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