特許
J-GLOBAL ID：200903007871262314
集積型薄膜太陽電池の製造方法およびその方法による集積型薄膜太陽電池
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-042964
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237439
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 第2電極層および光電変換層のパターニングをレーザを用いない簡単な方法で確実に行うこと。【解決手段】 集積型薄膜太陽電池の製造方法は、絶縁性基板上に第1電極層を積層する工程と、第1電極層上に所定間隔で細長いパターニング膜を平行に設ける工程と、パターニング膜の近傍で第1電極層にパターニング膜と平行な複数の分割溝を形成して複数の第1電極セグメントに分ける工程と、各第1電極セグメントおよびパターニング膜を覆うように光電変換層を積層する工程と、光電変換層上に第2電極層を積層する工程と、隣接するパターニング膜と分割溝との間に各第1電極セグメントと第2電極層とを電気的に接続する接続部を設ける工程と、各パターニング膜上の光電変換層と第2電極層とを剥離し、光電変換層と第2電極層とを各セグメントに分割する工程とを備え、パターニング膜と光電変換層との間の付着力は、第1電極層と光電変換層との間の付着力よりも弱く設定され、パターニング膜上における光電変換層と第2電極層の剥離が容易に行われる。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に第1電極層を積層する工程と、第1電極層上に所定間隔で細長いパターニング膜を平行に設ける工程と、パターニング膜の近傍で第1電極層にパターニング膜と平行な複数の分割溝を形成して複数の第1電極セグメントに分ける工程と、各第1電極セグメントおよびパターニング膜を覆うように光電変換層を積層する工程と、光電変換層上に第2電極層を積層する工程と、隣接するパターニング膜と分割溝との間に各第1電極セグメントと第2電極層とを電気的に接続する接続部を設ける工程と、各パターニング膜上の光電変換層と第2電極層とを剥離し、光電変換層と第2電極層とを各セグメントに分割する工程とを備え、パターニング膜と光電変換層との間の付着力は、第1電極層と光電変換層との間の付着力よりも弱く設定され、パターニング膜上における光電変換層と第2電極層の剥離が容易に行われる集積型薄膜太陽電池の製造方法。
Fターム (11件)：
5F051AA05
, 5F051CB15
, 5F051CB29
, 5F051CB30
, 5F051EA09
, 5F051EA16
, 5F051FA03
, 5F051FA04
, 5F051FA06
, 5F051FA30
, 5F051GA03
