弾性表面波素子とその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-014742
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206776
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】電極膜の耐電力性が高く、しかも内部損失が少ない、特性良好で長寿命な弾性表面波素子とその製造方法を提供することにある。【構成】弾性表面波素子の電極膜の膜厚方向の平均組成が、MはTi,Pd,Cu,Nb,Ni,Mg,Ge,Si,Co,Zn,Li,Ta,Au,Ag,Pt,Cr,Hf,Zr,Cd,W,Vの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、かつ、0≦y≦20,x+y=100なる条件を満たすxとyとは重量百分率組成を表すものとしたとき、AlxMyで表されるようにし、かつ、上記電極膜を圧電性基板上に成膜させたのち、該基板、電極膜に適した焼鈍処理を施して強度の高いAl合金電極膜の比抵抗を低下させ内部損失を軽減させる。

請求項（抜粋）：

圧電性基板上に金属薄膜よりなる電極を形成させた弾性表面波素子において、MはTi,Pd,Cu,Nb,Ni,Mg,Ge,Si,Co,Zn,Li,Ta,Au,Ag,Pt,Cr,Hf,Zr,Cd,W,Vの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、かつ、0≦y≦20,x+y=100なる条件を満たすxとyとは重量百分率組成を表すものとしたとき、前記電極をなす金属薄膜の膜厚方向の平均組成がAlxMyで表されることを特徴とする弾性表面波素子。

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平3-014305
特開平2-274008
特開平1-303910

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