特許
J-GLOBAL ID：200903007886976704
薄型平面表示パネルの隔壁形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324038
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172423
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 プラズマディスプレイやプラズマアドレッシング液晶表示パネルなどの各画素を空間的に分離し、或いは前面基板と背面基板との間隔を維持する隔壁の形成方法に関し、膜質が緻密で、より高いアスペクト比を有する隔壁を形成することが可能であるとともに、隔壁材料の後処理問題のない隔壁形成方法の提供を目的とする。【解決手段】 基板上に複数の隔壁を有する薄型平面表示パネルの隔壁形成方法であって、基板1の隔壁形成面に隔壁間の間隔に対応する幅と隔壁の高さに対応する高さを有するパターン膜2を形成する工程と、各パターン膜2の表面およびこの基板1の隔壁形成面に延在する隔壁材料膜3を気相成長法により形成する工程と、各パターン膜2の上面に形成された隔壁材料膜3のみを除去する工程と、パターン膜2を除去する工程とを含み、基板1の隔壁形成面に残存する隔壁材料膜3により隔壁3aを形成するように構成する。
請求項（抜粋）：
基板上に複数の隔壁を有する薄型平面表示パネルの隔壁形成方法であって、前記基板の隔壁形成面に前記隔壁間の間隔に対応する幅と隔壁の高さに対応する高さを有する複数のパターン膜を形成する工程と、前記各パターン膜の表面および前記基板の隔壁形成面に延在する隔壁材料膜を気相成長法により形成する工程と、前記各パターン膜の上面に形成された隔壁材料膜のみを除去する工程と、前記パターン膜を除去する工程と、を含み、前記基板の隔壁形成面に残存する隔壁材料膜により隔壁を形成することを特徴とする薄型平面表示パネルの隔壁形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, G02F 1/1333
