特許

J-GLOBAL ID：200903007887560960

イオンエネルギ-分析装置

発明者： 尾高 憲二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-361891
公開番号（公開出願番号）：特開2003-162974
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】試料と同一の真空中に設置したイオン検出器と検出チャンバの外側に設置したエネルギ-分析用のマグネットを同期させて試料周りに回転するとともに、検出器に必要な電力の供給及び信号の取り出しを行う。【解決手段】回転シ-ルを介して照射チャンバに回転容器を取り付け、この回転容器に検出器を保持する支持具及び信号線を接続するポ-トを設け、さらに回転容器とマグネットを同期して回転させることにより、上記の課題を解決することができる。【効果】本発明によれば、散乱角度を自由に選択することが可能で、散乱角度の変更を容易かつ短時間で行うことができて散乱角度の変更後直ちに実験を実施でき、さらに試料の汚染や変質のない、イオンエネルギ-分析装置を提供することができる。

請求項（抜粋）：

真空の照射チャンバ内に設置した試料にイオンを照射して該試料から散乱されるイオンを検出するイオンエネルギ-分析装置において、該散乱イオンビ-ムの検出器を設置する扁平な扇型の検出チャンバを照射チャンバと同一の真空空間を形成するように接続設置し、この検出チャンバ内に試料ホルダの回転軸に垂直な平面内に該回転軸を中心とする円弧をなす検出器ガイドを設け、このガイドにそって検出器を自在に移動できるように構成し、入射イオンビ-ムを挟んで試料ホルダと対向する照射チャンバ壁に回転シ-ルを設け、この回転シ-ルを介して回転容器を設けてその回転軸を試料ホルダ回転軸と一致させ、この回転容器の回転中心に検出器支持柱を固着してこの検出器支持柱と検出器とを検出器支持腕で連結し、照射チャンバの外部に試料ホルダの回転軸に垂直な平面内に該回転軸を中心とする円弧をなすマグネットガイドを設け、このガイドにそってマグネットを検出器チャンバに沿って回転軸に垂直な平面内を自在に移動できるように構成し、このマグネットと回転容器とを同期して回転させ、試料ホルダの回転軸周りの回転角度が常に等しくなるように構成したことを特徴とする散乱イオン分析装置。

IPC (6件)：

H01J 49/46 ,  G01N 23/20 ,  G01T 1/36 ,  G21K 1/00 ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/06

FI (7件)：

H01J 49/46 ,  G01N 23/20 ,  G01T 1/36 A ,  G01T 1/36 D ,  G21K 1/00 A ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/06

Fターム (19件)：

2G001AA05 ,  2G001BA14 ,  2G001CA05 ,  2G001EA04 ,  2G001GA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA20 ,  2G001PA07 ,  2G001PA12 ,  2G088FF01 ,  2G088FF15 ,  2G088JJ09 ,  5C033NN05 ,  5C033NP03 ,  5C033NP06 ,  5C038FF04 ,  5C038KK12 ,  5C038KK17