特許
J-GLOBAL ID：200903007896949250
光音響分光分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244649
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052819
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】【目的】 検出周波数が高く真空中での使用が可能で、しかも検出効率の高い光音響分光分析装置を提供する。【構成】 光音響検出手段として、ダイヤフラム102を形成した基板101と、上記ダイヤフラム上に設けられこのダイヤフラムの変形を電気信号に変換して出力する検出部103とからなる光音響検出手段100を用い、試料1を上記検出部を設けたダイヤフラム上に接触させた状態でエネルギー照射を行うようにした。試料に照射する励起用エネルギーは光(可視光)に限らず、紫外光、X線、放射線、あるいは電子線その他の粒子線等の利用も可能である。
請求項（抜粋）：
試料に励起用エネルギーを照射するエネルギー照射手段と、試料に吸収されたエネルギーの非発光緩和過程による熱変動により発生する歪波を電気信号に変換する光音響検出手段と、得られた電気信号を処理する信号処理手段とを備えた光音響分光分析装置において、前記光音響検出手段は、ダイヤフラムを形成した基板と、上記ダイヤフラム上に設けられこのダイヤフラムの変形を電気信号に変換して出力する検出部とを有し、前記ダイヤフラム上に試料を接触保持させて励起用エネルギーを照射し得るようにしたことを特徴とする光音響分光分析装置。
IPC (2件)：
G01N 29/00 501
, G01N 21/00
