特許
J-GLOBAL ID:200903007897398010

被処理物内面の放電処理方法及び放電処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-207699
公開番号(公開出願番号):特開2003-020350
出願日: 2001年07月09日
公開日(公表日): 2003年01月24日
要約:
【要約】【課題】 プラズマ雰囲気生成ガスを必要とせず、被処理物の寸法が大きい場合でもその内壁面全体に均一にプラズマ処理を施すことができる放電処理方法ないしは放電処理装置を提供する。【解決手段】 円筒状誘電体4の外周面にシート状の対向電極2が巻きつけられている。円筒状誘電体4の筒内空間部には、プラスチック製の円筒状被処理物3が配置される。被処理物3の中空部には棒状の放電極1が配置される。ここで、放電極1と対向電極2との間には、負極性高電圧電源回路と波形成形回路とで構成されるパルス高電圧生成回路によりパルス高電圧が印加され、コロナ放電が惹起され、プラズマ雰囲気生成ガスを用いることなくプラズマ雰囲気が生成される。このプラズマ雰囲気により、被処理物3の寸法が大きい場合でも、その内壁面全体に均一なプラズマ処理が施される。
請求項(抜粋):
中空部を有する被処理物の内壁面に、コロナ放電により表面改質処理を施すようにした被処理物内面の放電処理方法であって、周囲に対向電極が配設された筒状誘電体の筒内空間部に、被処理物全体を挿入し、被処理物の中空部に放電極を挿入し、放電極と対向電極との間にパルス高電圧を印加して、コロナ放電によりプラズマ雰囲気を生成し、該プラズマ雰囲気で被処理物の内壁面全体に表面改質処理を施すことを特徴とする被処理物内面の放電処理方法。
IPC (6件):
C08J 7/00 303 ,  C08J 7/00 CFD ,  B01J 19/08 ,  B23H 9/00 ,  H05H 1/46 ,  C08L 67:02
FI (6件):
C08J 7/00 303 ,  C08J 7/00 CFD ,  B01J 19/08 E ,  B23H 9/00 A ,  H05H 1/46 M ,  C08L 67:02
Fターム (19件):
3C059AA01 ,  3C059AB01 ,  3C059DA01 ,  3C059HA03 ,  4F073AA01 ,  4F073BA24 ,  4F073BB01 ,  4F073CA21 ,  4F073CA26 ,  4F073CA27 ,  4F073CA28 ,  4F073HA12 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075CA18 ,  4G075CA47 ,  4G075EB42 ,  4G075EC06 ,  4G075EC21

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