特許
J-GLOBAL ID：200903007901425655
静圧気体軸受構造
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306084
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283163
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 エアパッド部隙間の大きさとラビリンス隔壁部隙間の大きさを個別に設計することで、エアパッド部の軸受性能設計とラビリンス隔壁部のシール性能をそれぞれ独立に最適設計することが可能な、真空中で使用される静圧気体軸受を提供する。【解決手段】 移動体と固定体とからなり、エアパッドの周辺にラビリンス機構を備え真空中で使用される静圧気体軸受において、移動体と固定体のなす軸受隙間の内、ラビリンス隔壁部隙間を、エアパッド部隙間よりも小さくすることとした。
請求項（抜粋）：
移動体と固定体とからなり、エアパッドの周辺にラビリンス機構を備え真空中で使用される静圧気体軸受において、移動体と固定体のなす軸受隙間の内、ラビリンス隔壁部隙間を、エアパッド部隙間よりも小さくすることを特徴とする静圧気体軸受構造。
Fターム (12件)：
3J102AA02
, 3J102BA05
, 3J102CA03
, 3J102CA36
, 3J102EA02
, 3J102EA07
, 3J102EA10
, 3J102EA17
, 3J102EA23
, 3J102EA24
, 3J102FA06
, 3J102GA19
