特許
J-GLOBAL ID：200903007907480658
炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置および製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-061338
公開番号（公開出願番号）：特開平10-258825
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 硬質炭素膜のコーティング状態が同一のコーティングプラスチック容器を量産することが出来る炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置を提供する。【解決手段】 外部電極内に形成された真空室に容器を収容し、この外部電極の真空室に収容された容器内に内部電極を挿入し、真空室を真空にするとともに容器内に炭素源の原料ガスを供給した後、外部電極に高周波電源から電力を投入して外部電極と内部電極間にプラズマを発生させることにより、容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置において、高周波電源Rfに複数の外部電極CR,CCおよびCLが接続され、この外部電極CR,CC,CLが互いに導線13Rおよび13Lによって接続されている。
請求項（抜粋）：
外部電極内に形成された真空室に容器を収容し、この外部電極の真空室に収容された容器内に内部電極を挿入し、真空室を真空にして容器内に炭素源の原料ガスを供給するとともに、外部電極に高周波電源から電力を投入して外部電極と内部電極間にプラズマを発生させることにより、容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置において、前記高周波電源に複数の外部電極が接続されているとともに、この複数の外部電極が互いに導線によって接続されていることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
IPC (3件)：
B65D 1/09
, B05D 3/04
, B29D 22/00
B65D 1/00 C
, B05D 3/04 C
, B29D 22/00
