特許

J-GLOBAL ID：200903007914337003

プラズマに基づき軟X線放射線を発生するための方法および装置

発明者： カイ ゲーベル ,  グイード ヘルゲンハン ,  クリスチアン ツィーナー
出願人/特許権者： イクストリーメ テクノロジース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 藤田 アキラ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-021410
公開番号（公開出願番号）：特開2005-251735
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】 ノズルの加熱および腐食の低減を可能にし、注入装置における温度制御の改良を可能にする、プラズマに基づく放射線源用のターゲットを提供するための新規な可能性を見出すこと。【解決手段】 ターゲットノズル(1)と相互作用領域(41)との間に閉鎖装置(2)が配置され、この閉鎖装置(2)が、機械的に移動する要素(23、24、25)により、ターゲット流(12)を一時的に通過させるための開口部(22)を遮断し、この場合、再現可能に提供されるターゲット流(12)から少なくとも一部分(13)が分離され、それにより、相互作用領域(41)からターゲットノズル(1)への光学的透過が閉鎖装置(2)によって妨げられる時間間隔の間のみ、エネルギビーム(3)との相互作用が行われる。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

プラズマに基づき軟X線放射線を発生するための、特に極紫外線(EUV)放射線を発生するための方法であって、再現可能に提供されるターゲット流が、定義部分にて、放射線放出プラズマを励起するためにパルスエネルギビームと相互作用するようにされ、該相互作用により放射線放出プラズマの発生が行われる方法において、 ターゲット流(12)が閉鎖装置(2)によって一時的に遮断され、該遮断が、少なくとも、相互作用領域(41)に位置するターゲット流(12)の部分(13)とエネルギビーム(3)との相互作用中に実施されることと、 相互作用領域(41)でエネルギビーム(3)が、定義されて分離されているターゲット流(12)の部分(13)に衝突して、該部分の材料が放射線発生プラズマ(42)に変換されることと、 ターゲット流(12)の他の部分(13)がエネルギビーム(3)の相互作用領域(41)へと通過することを可能にするために、エネルギビーム(3)のパルス間の休止中に閉鎖装置(2)が開かれることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H05G2/00 ,  G21K5/08

FI (2件)：

H05G1/00 K ,  G21K5/08 X

Fターム (7件)：

4C092AA05 ,  4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AA15 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  4C092BD18

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 欧州特許第0 186 491 B1号明細書
  
• 米国特許第5,577,092号明細書
  
• 国際公開第01/30122号パンフレット
  
• 国際公開第97/40650号パンフレット
  

審査官引用 (3件)

• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-339925   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭62-268048
  
• 高流速・高エネルギー光子供給源
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-588731   出願人：パワーレイズ・リミテッド