特許

J-GLOBAL ID：200903007916979673

ダイヤモンドコーティング工具およびその製造方法

発明者： 伊藤 秀章 ,  坂本 弘道 ,  久留宮 正
出願人/特許権者： 富士精工株式会社
代理人 (1件)： 菅原 弘志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-326280
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156002
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【目的】 窒化ケイ素焼結体を基体とする高密着性かつ高寿命のダイヤモンドコーティング工具とその製造法を提供する。【構成】 窒化ケイ素を母相とする焼結基体の表面を強酸処理し、活性な基体の凹凸表面およびピンホールを形成した後、該表面及びピンホ-ル内に超音波キズ付け処理を施す。しかる後、基体表面及びピンホ-ル内面に第1段階CVDによりダイヤモンドアンカーを含むダイヤモンド膜を形成し、次いで第2段階CVDでダイヤモンド膜を厚膜化すると同時に基体内部に炭素拡散層を形成し、高密着性・高寿命のダイヤモンドコーティング工具を得る。

請求項（抜粋）：

多数のピンホ-ルが形成された窒化ケイ素燒結体表面付近に厚さ5μm以上の炭素拡散層が形成され、前記ピンホ-ル内及び燒結体表面にCVD法による厚さ20〜200μmのダイヤモンドコーティング層が形成されていることを特徴とするダイヤモンドコーティング工具。

IPC (5件)：

B23B 27/14 ,  B23P 15/28 ,  C04B 35/584 ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-223806
  
• 特開平4-276077
  
• 特開平4-129622